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发明名称 METALLIC PROJECTION FORMATION SUBSTRATE AND TRANSCRIPTION METHOD OF METALLIC PROJECTION
摘要
申请公布号 JPH0429322(A) 申请公布日期 1992.01.31
申请号 JP19900135058 申请日期 1990.05.24
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KAWAKITA TETSUO;HATADA KENZO
分类号 H01L21/60;H01L21/321 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
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