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经营范围
发明名称
FORMATION OF TITANIUM ALUMINUM NITRIDE FILM
摘要
申请公布号
JPH05186862(A)
申请公布日期
1993.07.27
申请号
JP19920020567
申请日期
1992.01.08
申请人
NISSIN ELECTRIC CO LTD
发明人
SUZUKI YASUO
分类号
C23C14/06;C04B41/50;C23C14/22
主分类号
C23C14/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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