| 发明名称 |
INSTRUMENT FOR MEASURING EXTERNAL SHAPE OF DISCOID SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05187830(A) |
申请公布日期 |
1993.07.27 |
| 申请号 |
JP19920003985 |
申请日期 |
1992.01.13 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
OKAMOTO HIROAKI;FUKAZAWA KAZUHIKO |
| 分类号 |
G01B11/10;G01B21/10;G01B21/20 |
主分类号 |
G01B11/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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