发明名称 |
ANORDNING FOR AA TILVEIEBRINGE SAMMENHENGENDE REGISTRERINGAV HALVLEDERSKIVER |
摘要 |
<p>En anordning (10) til oppnåelse av ensartet innstilling av en halvledersklve som underkastes bearbeiding innbefatter en plate (38) hvorpå en omgivelse (14) er stilt inn. Omgivelsen (14) er stilt inn på platen (38) ved sammenpassende to pinner (42), (40), som stikker opp fra platen (38) til et hull (44) og et spor (46) i omgivelsen (14). En første innstillingsflate (16) for innstilling av et flatt parti (20) på en halvlederskive (12) er fast montert på omgivelsen (14). En andre innstillingsflate (18) for innstilling av et punkt (24) på omkretsen av halvledersklven (12) er fast montert på omgivelsen (14). En tredje stillbar innstillingsflate (26) stiller også inn mot et punkt (28) på omkretsen av skiven (12). Denne tredje innstillingsflate (26) er fjærbelastet for å ta hensyn til små diametervaria- sjoner på på hverandre følgende behandlede halv- lederskiver og for å utøve en kraft som holder skiven (12 ) på plass.</p> |
申请公布号 |
NO930197(A) |
申请公布日期 |
1993.07.26 |
申请号 |
NO19930000197 |
申请日期 |
1993.01.21 |
申请人 |
HUGHES AIRCRAFT COMPANY |
发明人 |
PRUSAK, JOSEPH;BASSARO, ANTHONY |
分类号 |
H01L21/302;B23Q3/18;H01L21/3065;H01L21/66;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/302 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|