发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH05183060(A) 申请公布日期 1993.07.23
申请号 JP19910360329 申请日期 1991.12.30
申请人 NEC CORP 发明人 ISHIZUKA SATOSHI
分类号 H01L21/768;H01L23/522 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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