发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05183051(A) 申请公布日期 1993.07.23
申请号 JP19920000912 申请日期 1992.01.07
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 KINOSHITA EITA
分类号 H01L21/76;H01L21/316 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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