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发明名称 ETCHING LIQUID FOR CDTE CRYSTAL USE
摘要
申请公布号 JPH05182951(A) 申请公布日期 1993.07.23
申请号 JP19910358398 申请日期 1991.12.27
申请人 NIKKO KYODO CO LTD 发明人 URATA KATSUTOSHI
分类号 H01L21/308;H01L21/66;H01L31/0264 主分类号 H01L21/308
代理机构 代理人
主权项
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