发明名称 CIRCUIT CONNECTION VERIFICATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05181924(A) 申请公布日期 1993.07.23
申请号 JP19910288773 申请日期 1991.11.05
申请人 NEC CORP 发明人 KINOSHITA MINAKO
分类号 G01R31/28;G06F17/50;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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