发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05182909(A) 申请公布日期 1993.07.23
申请号 JP19920153722 申请日期 1992.06.12
申请人 SEIKO INSTR INC 发明人 SAITO YUTAKA
分类号 H01L21/02;H01L21/20;H01L27/12;H01L31/0248;H01L31/04;H01L31/10 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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