发明名称 FORMATION OF INSULATING FILM
摘要
申请公布号 JPH04262531(A) 申请公布日期 1992.09.17
申请号 JP19910043040 申请日期 1991.02.15
申请人 SONY CORP 发明人 SASAKI NAOTO;AMAGASAKI YOSHIHIRO
分类号 H01L21/312 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
主权项
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