APPARATUS AND METHOD FOR SUPPLYING AND DISCHARGING GAS FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS,申请号JP19910360285-传众专利搜索

发明名称	APPARATUS AND METHOD FOR SUPPLYING AND DISCHARGING GAS FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
摘要
申请公布号	JPH05182917(A)	申请公布日期	1993.07.23
申请号	JP19910360285	申请日期	1991.12.28
申请人	KOKUSAI ELECTRIC CO LTD	发明人	SAKUMA HARUNOBU;MAKIGUCHI KAZUMASA
分类号	H01L21/205;H01L21/31	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
主权项
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