| 发明名称 |
ULTRAVIOLET IRRADIATION DEVICE, OPTICAL AXIS ADJUSTMENT DEVICE AND METHOD OF OPTICAL SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05180692(A) |
申请公布日期 |
1993.07.23 |
| 申请号 |
JP19910358767 |
申请日期 |
1991.12.28 |
| 申请人 |
TOSHIBA LIGHTING & TECHNOL CORP |
发明人 |
KOUSAKA TAKAO |
| 分类号 |
G01J1/02;G01J1/06;H01J61/86 |
主分类号 |
G01J1/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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