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发明名称
IMPROVING METHOD FOR SHAPE OF RESIST PATTERN
摘要
申请公布号
JPH05182902(A)
申请公布日期
1993.07.23
申请号
JP19910359790
申请日期
1991.12.27
申请人
SONY CORP
发明人
SAITO MASAO
分类号
H01L21/30;H01L21/027
主分类号
H01L21/30
代理机构
代理人
主权项
地址
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