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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05183153(A) 申请公布日期 1993.07.23
申请号 JP19920000282 申请日期 1992.01.06
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 MATSUZAWA KAZUYA;FUKUDA SANAE
分类号 H01L21/02;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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