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经营范围
发明名称
CHARGED PARTICLE BEAM LENGTH MEASURING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH05180645(A)
申请公布日期
1993.07.23
申请号
JP19920018280
申请日期
1992.01.06
申请人
NIKON CORP
发明人
OMORI KAORU;KOHAMA SADAAKI
分类号
G01B15/00
主分类号
G01B15/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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