发明名称 SURFACE-SHAPE MEASURING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH05180643(A) 申请公布日期 1993.07.23
申请号 JP19920000234 申请日期 1992.01.06
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KISO MATAICHIRO
分类号 G01B11/30 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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