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发明名称 FORMING METHOD FOR PATTERN
摘要
申请公布号 JPH05182904(A) 申请公布日期 1993.07.23
申请号 JP19920000536 申请日期 1992.01.07
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MARUYAMA TAKASHI;KITAZAWA OSAMU
分类号 H01L21/302;H01L21/027;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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