发明名称 CHEMICAL TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05182942(A) 申请公布日期 1993.07.23
申请号 JP19910358277 申请日期 1991.12.27
申请人 HITACHI ELECTRON ENG CO LTD 发明人 KATO KAZUHIRO;KODAMA MASAYOSHI;HORIE NOBORU;UNO MASAO
分类号 H01L21/30;H01L21/027;H01L21/304;H01L21/677;H01L21/68 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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