发明名称 LASER INTERFERENCE MEASURING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH05180617(A) 申请公布日期 1993.07.23
申请号 JP19910346347 申请日期 1991.12.27
申请人 HOYA CORP 发明人 HIRANO MASAO
分类号 G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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