| 摘要 |
En anordning (10) for mikromønstrlng av en fotoreslst belagt overflate (12) på en halvlederskive (14) Innbefatter en datamaskin (50) for å styre et bilde på en skjerm (29) av et katodestråleror (CRT) (30). CRT-skJermen (29) er optisk koblet til en flytendekrystall lysventll (LCLV) (26) ved hjelp av en fiberoptlkk-frontplate (28). Denne forbindelse er slik at det datamasklnstyrte bildet på CRT-skJermen (29) gjengis på flaten (27) av nevnte LCLV (26) socn et reflekterende mønster av dette bildet. En argon-lonelaser (16) gir en polarisert, monokroma- tlsk lysstråle (18) som reflek-teres fra flaten (27) på nevnte LCLV (26). Denne ref-lekterte stråle (32) blir konvergerende fokusert ved hjelp av et llnsesystem (36) på et projesert areal (37) av den fotoreslst belagte skiveoverflaten (12), hvorved fotoresisten eksponeres med et bilde av det LCLV ref-lekterende mønster. En hellum-neonlaser (38) tllvele-brlnger en polarisert, monokromatlsk lysstråle (44) som konvergerende fokuseres på det samme projeserte areal (37) av skiveoverflaten (12). Imidlertid er bølgelengden av den helium-neontilveie- bragte lysstråle (44) slik at der ikke er noen eksponering til den fotoreslst be-lagte sklveoverflaten (12). Hellum-neonlysstrålen ref-lekteres fra det projeserte areal (37) på sklveoverflaten (12) og dirigeres mot et bildeplan (49) på et kamera (48) av typen ladnlngskoblet anordning (CCD). CCD-kameraet (48) fanger et bilde av det projeserte areal (37) på sklveoverflaten (12) og en datamaskin (50) digitaliserer dette bildet. Datamas- kinen (50) bestemner posisjonen av skiven (14) med hensyn til det projeserte, reflekterende mønsterblldet, og oppdaterer bildet på CRT-skJermen (29) dersom det projeserte, ref-lekterende mønsterblldet Ikke er riktig innrettet på skiveoverflaten (12). Således kan hele overflaten (12) av skiven (14) mlkromanstres ved å bevege skiven (14) og oppdatere CRT-skJermens (29) bilde l henhold til denne bevegelse. |
