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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0548941(B2) 申请公布日期 1993.07.22
申请号 JP19860315465 申请日期 1986.12.23
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MICHII KAZUNARI
分类号 H01L21/56;H01L23/50;(IPC1-7):H01L21/56 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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