发明名称 APPARAT ZUM MESSEN EINER MUSTERKONFIGURATION.
摘要
申请公布号 DE68904820(T2) 申请公布日期 1993.07.22
申请号 DE19896004820T 申请日期 1989.06.08
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 KOMATSU, FUMIO, FUCHU-SHI TOKYO-TO, JP;MIYOSHI, MOTOSUKE, MINATO-KU TOKYO-TO, JP
分类号 G01B15/00;G01B15/04;H01J37/04;H01J37/22;(IPC1-7):G01B15/04 主分类号 G01B15/00
代理机构 代理人
主权项
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