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发明名称 OBERFLAECHENINTERFEROMETER.
摘要
申请公布号 DE3786227(D1) 申请公布日期 1993.07.22
申请号 DE19873786227 申请日期 1987.09.25
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 NORTHROP, GREGORY ALLEN, MAHOPAC NEW YORK 10541, US
分类号 G01B9/02;(IPC1-7):G01B9/02;G01B11/16;G01D5/26 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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