VORRICHTUNG ZUM EIN- UND AUSSCHLEUSEN EINES WERKSTUECKS IN EINE VAKUUMKAMMER.,申请号DE19905001807-传众专利搜索

发明名称	VORRICHTUNG ZUM EIN- UND AUSSCHLEUSEN EINES WERKSTUECKS IN EINE VAKUUMKAMMER.
摘要
申请公布号	DE59001807(D1)	申请公布日期	1993.07.22
申请号	DE19905001807	申请日期	1990.11.20
申请人	LEYBOLD AG, 6450 HANAU, DE	发明人	KEMPF, STEFAN, W-8755 ALZENAU, DE;ZEJDA, JAROSLAV, W-6458 RODENBACH 1, DE
分类号	C23C14/50;C23C14/56;H01L21/00;(IPC1-7):C23C14/56	主分类号	C23C14/50
代理机构		代理人
主权项
地址