| 发明名称 |
SILICON MICRO SENSOR AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0341964(B1) |
申请公布日期 |
1993.07.21 |
| 申请号 |
EP19890304648 |
申请日期 |
1989.05.08 |
| 申请人 |
SHARP KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
FURUBAYASHI, HISATOSHI;INAMI, YASUKIKO |
| 分类号 |
H01L21/306;G01L1/18;G01L9/00;H01L29/84 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
