一种半导体电热薄膜及其加工方法

摘要

一种二氧化锡半导体电热膜，用一种掺有氯化铋及三氯化锑或三氯化铁或四氯化钛的处理液，以真空加热熏蒸法热解成膜制作电热膜。整个制作工艺是在一个真空加热熏蒸装置中进行。选用不同阻值调整剂的处理液可以制成多种电阻区段的半导体电热膜。用这种方法制成的电热膜均匀度高，粘附力强，阻值范围宽，适用范围广，使用寿命可达7000小时以上，成品合格率在95％以上。本制作工艺能耗低，环境污染少，生产周期短，生产成本低。

主权项

1、一种半导体电热薄膜，用一种含有四氯化锡和乙醇的处理液，涂布于工件表面，经热解形成半导体电热薄膜，其特征在于在所说的处理液中含有稳定剂氯化铋和电阻阻值调整剂，选用不同阻值调整剂配制的处理液，可制取多种电阻区段的半导体电热膜，所说处理液的组分含量(重量%)为： 40-50四氯化锡 49-54乙醇 微量-0.6三氯化铋 0.3-2电阻阻值调整剂，它选自三氯化锑、三氯化铁和四氯化钛。