发明名称 THIN FILM TRANSISTOR AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
摘要
申请公布号 EP0519692(A3) 申请公布日期 1993.07.21
申请号 EP19920305529 申请日期 1992.06.17
申请人 SHARP KABUSHIKI KAISHA 发明人 MITANI, YASUHIRO;IKUBO, KATSUMASA;TANAKA, HIROHISA;MORIMOTO, HIROSHI
分类号 H01L21/265;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/84 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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