Thin film formation apparatus.,申请号EP19890401277-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	Thin film formation apparatus.
摘要
申请公布号	EP0342113(B1)	申请公布日期	1993.11.03
申请号	EP19890401277	申请日期	1989.05.05
申请人	FUJITSU LIMITED	发明人	KAMAJI, HIDEKI;ARAKI, SHIN
分类号	C23C16/509;H01J37/32;(IPC1-7):C23C16/50	主分类号	C23C16/509
代理机构		代理人
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