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发明名称 CONTACT TO GALLIUM-ARSENIDE AND METHOD OF FORMING SUCH
摘要
申请公布号 EP0282781(B1) 申请公布日期 1993.07.21
申请号 EP19880102732 申请日期 1988.02.24
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 MURAKAMI, MASANORI;PRICE, WILLIAM HENRY
分类号 H01L21/338;H01L29/872;H01L21/28;H01L21/285;H01L29/43;H01L29/45;H01L29/47;H01L29/78;H01L29/812 主分类号 H01L21/338
代理机构 代理人
主权项
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