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发明名称 SUBSTRATE-TREATING APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0284436(B1) 申请公布日期 1993.07.21
申请号 EP19880302720 申请日期 1988.03.25
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 OHMI, KAZUAKI;DEN, TOHRU;TSUDA, HISANORI;SUGATA, MASAO;YOKONO, KOHJIRO
分类号 C23C16/04;C23C16/511;H01J37/32 主分类号 C23C16/04
代理机构 代理人
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