ION IMPLANTATION APPARATUS,申请号GB19930011324-传众专利搜索

发明名称	ION IMPLANTATION APPARATUS
摘要
申请公布号	GB9311324(D0)	申请公布日期	1993.07.21
申请号	GB19930011324	申请日期	1993.06.01
申请人	MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA	发明人
分类号	H01J37/09;H01J37/304;H01J37/317	主分类号	H01J37/09
代理机构		代理人
主权项
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