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发明名称 SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05179438(A) 申请公布日期 1993.07.20
申请号 JP19910359776 申请日期 1991.12.28
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 KANAO HIROTO;AKAHORI TAKASHI
分类号 C23C14/34;C23C14/35;C23C14/50;H01L21/203;H01L21/285 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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