| 发明名称 |
Wafer positioning mechanisms for notched wafers. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0376160(B1) |
申请公布日期 |
1994.03.02 |
| 申请号 |
EP19890123662 |
申请日期 |
1989.12.21 |
| 申请人 |
FUJITSU LIMITED |
发明人 |
SHIMANE, KAZUO C/O FUJITSU LIMITED |
| 分类号 |
H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/68 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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