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发明名称
CHARGED-PARTICLE BEAM LITHOGRAPHY
摘要
申请公布号
JPH0684768(A)
申请公布日期
1994.03.25
申请号
JP19920236933
申请日期
1992.09.04
申请人
JEOL LTD
发明人
KOMAGATA TADASHI;OBATA MUTSUNORI
分类号
H01L21/027;G03F7/20;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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