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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0547974(B2) 申请公布日期 1993.07.20
申请号 JP19890214340 申请日期 1989.08.21
申请人 DAIWA HANDOTAI SOCHI KK 发明人 SATO RYOZO
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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