发明名称 Semiconductor element manufacturing process
摘要
申请公布号 AU649063(B2) 申请公布日期 1994.05.12
申请号 AU19910083538 申请日期 1991.09.03
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD. 发明人 MASANORI NISHIGUCHI
分类号 H01L21/304;H01L21/306;H01L21/78;(IPC1-7):H01L21/02;H01L21/302 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
地址