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发明名称 EXPOSURE DEVICE INCLUDING AN ELECTRICALLY ALIGNED ELECTRONIC MASK FOR MICROPATTERNING
摘要
申请公布号 US5229872(A) 申请公布日期 1993.07.20
申请号 US19920822794 申请日期 1992.01.21
申请人 HUGHES AIRCRAFT COMPANY 发明人 MUMOLA, PETER B.
分类号 H01L21/30;G03F7/20;H01L21/027 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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