HALTERUNGSBALKEN FUER DIE VORBEHANDLUNG VON WAFERN.,申请号DE19863688551-传众专利搜索

发明名称	HALTERUNGSBALKEN FUER DIE VORBEHANDLUNG VON WAFERN.
摘要
申请公布号	DE3688551(D1)	申请公布日期	1993.07.15
申请号	DE19863688551	申请日期	1986.11.20
申请人	THE PQ CORP., VALLEY FORGE, PA., US	发明人	GIRARD, RICHARD T., COVENTRYVILLE, PA 19464, US;MCLAUGHLIN, JOHN R., MEDIA, PA 19063, US
分类号	B24B53/00;B28D5/00;B28D5/02;H01L21/304;(IPC1-7):B28D5/02;B24D3/34;H01L21/00	主分类号	B24B53/00
代理机构		代理人
主权项
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