发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES DOPPELTIEGELS AUS QUARZ UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES MONOKRISTALLINEN SILIZIUMSTABES.
摘要
申请公布号 DE3881561(D1) 申请公布日期 1993.07.15
申请号 DE19883881561 申请日期 1988.03.15
申请人 MITSUBISHI MATERIALS CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KIDA, MICHIO, URAWA-SHI SAITAMA-KEN, JP;SAHIRA, KENSHO, YONO-SHI SAITAMA-KEN, JP
分类号 C03B20/00;C03B23/207;C30B15/12;C30B29/06;(IPC1-7):C30B15/12 主分类号 C03B20/00
代理机构 代理人
主权项
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