发明名称 HYDROXYPOLYIMIDE UND DARAUS HERGESTELLTE HOCHTEMPERATURBESTAENDIGE POSITIVPHOTORESISTS.
摘要
申请公布号 AT90704(T) 申请公布日期 1993.07.15
申请号 AT19880111088T 申请日期 1988.07.12
申请人 HOECHST CELANESE CORPORATION 发明人 KHANNA, DINESH N.;MUELLER, WERNER H., DR.
分类号 C08G73/10;G03F7/016;G03F7/022;(IPC1-7):C08G73/10 主分类号 C08G73/10
代理机构 代理人
主权项
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