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发明名称 VERFAHREN ZUR DOTIERUNGSDIFFUSION IN EINEM HALBLEITERKOERPER.
摘要
申请公布号 DE3687354(T2) 申请公布日期 1993.07.15
申请号 DE19863687354T 申请日期 1986.02.25
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 HOVEL, HAROLD JOHN, KATONAH NEW YORK 10536, US;MCKOY, THERMON EZZARD, PEEKSKILL NEW YORK 10566, US
分类号 C30B31/06;C30B29/40;C30B31/02;H01L21/223;H01L21/225;(IPC1-7):H01L21/223 主分类号 C30B31/06
代理机构 代理人
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