Method for manufacturing of non-linear micro optical elements.

摘要

Es wird ein Verfahren zur Herstellung von nicht linearen optischen Mikrobauelementen beschrieben, mit dem der Einsatz bisher noch nicht verwendeter Materialkombinationen ermöglicht wird. Mittels der Röntgentiefenlithographie werden nicht nur Wellenleiterstrukturen sondern auch Mikroküvettenstrukturen hergestellt, in die anschließend Material mit nicht linearen optischen Eigenschaften eingebracht wird. Mittels der Röntgentiefenlithographie und Mikroabformtechnik wird ein Formeinsatz mit einer Wellenleiterstruktur als Positivform hergestellt und die Wellenleiterstruktur mittels des Formeinsatzes in ein Trägermaterial aus Polymeren eingeprägt. Danach wird die eingeprägte Wellenleiterstruktur mit optisch linearem Material gefüllt und nach dem Ausfüllen mittels der Röntgentiefenlithographie zumindest in den Bereichen des optisch linearen Materials mindestens eine Mikroküvettenstruktur hergestellt, in die optisch nicht lineares Material eingebracht wird. Die Mikroküvettenstruktur kann auch mittels eines weiteren Formeinsatzes eingeprägt werden.