管状阴极长电弧等离子体蒸发源

摘要

一种管状阴极长电弧等离子体蒸发源，包括阳极壳体、阴极、半环形屏蔽及板套式屏蔽，阴极为可任意贯穿阳极壳体的通底或不通底的长柱管状体，阴极的上、下端均装有接线柱，阴极的空腔中注有冷却水，阴极的外部均套有半环形屏蔽及板套式屏蔽，蒸发量大，一个管状阴极相当于多个蒸发源，使现有镀膜装置的结构大大简化，节省了材料，降低了成本，使用起来很方便，是一种新型的蒸发源。

主权项

1、一种管状阴极长电弧等离子体蒸发源，包括阳极壳体1，阴极2，半环形屏蔽3及板套式屏蔽4，阴极2为可任意贯穿阳极壳体1的通底或不通底的长柱管状体，阴极2的上、下端均装有接线柱5，阴极2的空腔13中注有冷却水，阴极2的外部均套有半环形屏蔽3及板套式屏蔽4。