UNA PELICULA SEMICONDUCTORA DEPOSITADA ELECTRONICAMENTE DE MATERIAL DE FOSFORO ENLAZADO, EL METODO PARA FABRICARLA Y UN DISPOSITIVO SEMICONDUCTOR FORMADO CON ELLA

摘要

La presente invención se refiere a una película semiconductora depositada electrónicamente de un material de fósforo enlazado o encadenado formada sobre un substrato apropiado mediante deposición electrónica, caracterizada por el hecho de que comprende MPx, en donde x es igual o mayor que 15 y M es un metal alcalino. Metodo para fabricar una película delgada de fósforo enlazado, semiconductora, sobre un substrato caracterizado por la deposición electrónica de la película sobre un substrato, que comprende: proveer un objetivo de MP15; y proveer una fuente de fósforo adicional, en donde dicha película delgada comprende MPx, en que x es igual o mayor que 15 y M es un metal alcalino.