发明名称 AN AUTOMATIC EDGE GRINDER
摘要
申请公布号 EP0222521(B1) 申请公布日期 1993.07.14
申请号 EP19860308036 申请日期 1986.10.16
申请人 SILICON TECHNOLOGY CORPORATION 发明人 STEERE, ROBERT;LEWANDOWSKI, THOMAS
分类号 B24B9/06;H01L21/304 主分类号 B24B9/06
代理机构 代理人
主权项
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