发明名称 PROCESS TO MAKE A LARGE-AREA ELECTROLYTICAL CONTACT ON A SEMICONDUCTOR BODY
摘要
申请公布号 EP0400387(A3) 申请公布日期 1993.07.14
申请号 EP19900109039 申请日期 1990.05.14
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 FOELL, HELMUT, DR.;LEHMANN, VOLKER, DR.
分类号 H01L21/66;G01R31/265;(IPC1-7):G01R31/302;H01L21/306 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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