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发明名称
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申请公布号 JPH0547050(B2) 申请公布日期 1993.07.15
申请号 JP19870151208 申请日期 1987.06.19
申请人 HITACHI LTD 发明人 SASAKI SHIGEYUKI
分类号 H01L39/04;G01F23/14;(IPC1-7):G01F23/14 主分类号 H01L39/04
代理机构 代理人
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