发明名称 METHOD FOR SELECTIVELY GROWING GALLIUM-CONTAINING LAYERS
摘要
申请公布号 US5227006(A) 申请公布日期 1993.07.13
申请号 US19910799269 申请日期 1991.11.27
申请人 AT&T BELL LABORATORIES 发明人 ABERNATHY, CAMMY R.;PEARTON, STEPHEN J.;REN, FAN;WISK, PATRICK W.
分类号 C23C16/30;C30B25/14;H01L21/20;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/306;H01L21/331;H01L29/205 主分类号 C23C16/30
代理机构 代理人
主权项
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