发明名称 制造半导体器件的方法及实施该方法的设备
摘要 在一种制造半导体器件的设备中,在第一焊接后即将绝缘体喷涂到连续地由毛细管馈送的焊线上,以使用绝缘体涂敷焊线。在毛细管到达第二焊接位置之前即停止喷涂。然后,当毛细管到达第二焊接位置时进行第二焊接。
申请公布号 CN1141504A 申请公布日期 1997.01.29
申请号 CN96106855.8 申请日期 1996.05.31
申请人 日本电气株式会社 发明人 新谷忠之
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 萧掬昌;王忠忠
主权项 1.一种制造半导体器件的设备,包括:馈送焊线用的毛细管;附着在所说毛细管上的喷涂器,将绝缘体喷向连续地由所说毛细管馈送出的所说焊线上;以及一控制器,用以控制所说喷涂器以开始或停止喷涂绝缘体。
地址 日本东京都