| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05175186(A) |
申请公布日期 |
1993.07.13 |
| 申请号 |
JP19910339215 |
申请日期 |
1991.12.24 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
OKAMOTO YOSHIHIKO;KAMIDATE SHINICHI |
| 分类号 |
C23C16/54;C30B25/08;C30B25/14;H01L21/205;H01L21/31 |
主分类号 |
C23C16/54 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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